雅马哈YSI-X 3D xray 3D检测机

基本规格
YSi-X
対象基板
尺寸&divsp;	L100 × W50 ～ L560 × W460mm
贴装后的元件高度&divsp;	上面40mm、下面80mm (生产线上使用时为40mm)
翘曲度&divsp;	2.0 mm 以下
重量&divsp;	2.0kg 以下
X射线检查	TypeHD	TypeHB
X射探测器&divsp;	FOS平板式
高速型	直接转换式
耐用型
分辨率&divsp;	7～54μm	18～54μm
较大视野&divsp;	62 × 78mm	52 × 45mm
检查速度　2D-X&divsp;	93.7?/sec	24.0?/sec
检查速度　3D-X&divsp;	15.5?/sec	4.0?/sec
方式&divsp;	采用X射线CT进行三维断层检查
X射线源&divsp;	微焦点密封管
管电压&divsp;	较大 130KV
检查区域&divsp;
(基板*部)&divsp;	3D： L510 × W460 mm、2D： L560 × W460 mm
光学检查
检查速度&divsp;	0.4 秒 / 视野
分辨率&divsp;	10μm / 19μm
照明&divsp;	3层圆**照明、上层R?G?B?红外线、中层R?G?B、下层R?G?B
摄像系统&divsp;	数码彩色相机、远心镜头
检查区域&divsp;	L560 × W460 mm
激光检查
分辨率 / 方式&divsp;	5μm (高度方向) / 采用通过激光光束进行三角法测量的测距传感器
检查区域&divsp;
(基板*部)&divsp;	L510 × W360 mm
X射线泄漏量	0.2 μSv/h 以下
电源规格 /	三相 AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10%　50/60 Hz / 0.4MPa以上
外形尺寸 / 重量	L1,710 × D1,883 × H1,705mm（突起部除外）/ 约 2,900kg